第45章 第七次测试成功,变数 (第2/3页)
的DYN-离子束抛光技术,我们还不知道要进行多少轮测试。”
“太客气了!包教授,第二组检测结果如何?”苏哲看着一脸激动的包正义问。
“好!非常好!和第一组差不多,镜面达到0.09纳米的面型精度峰谷值和19皮米的表面粗糙度。”包正义指着他工位上的显示屏,“这样的精度还是因为我们仓促测试的结果,等设备定型了,精度还会更高。”
苏哲看了看显示屏上两组光学镜头镜片的镜面检测结果,如同范晓明和包正义说的那样,虽说没有达到理论值,但比蔡斯加工的精度高。
这样的加工精度完全满足EUV光刻机光学镜头的需要,国内芯片制程工艺能全面突破了。
他也能拿到提前预支的那一千万了,就是不知协议啥时候签?
正想这些的时候,耳边传来包正义的喊声。
“晓明!赶紧发邀请函,让那三十三家明天来参加技术报告会,对了!通知公正人员和法务,DYN-离子束抛光技术验证成功,协议就该签了。”
范晓明点头,掏出手机,一顿操作后笑着说:“好了!三十三家邀请函都发了,公正人员和法务将会在下午一点来研究中心。”
苏哲听到这些,还是很激动的。
一千万啊!
马上就能到手一千万了。
包正义看了看那些依然兴奋的研究人员,清清嗓子,大声喊:“大家静一静,静一静……高兴一下就行了,不要搞的像没见过世面一样,该吃饭的吃饭,下午把相关数据整理好,好让上岭光学尽快投产,要知道,申城微电子的EUV光刻机就等着咱们的光学镜头下锅了。”
听完包正义说的话,众研究人员自豪的笑了起来,就在包正义打算再说两句的时候,众研究人员一哄而散,没一会儿,实验室就剩下苏哲、范晓明和包正义三人。
包正义尴尬的咳嗽一声,有些埋怨的说:“这帮兔崽子,竟然不给我表现的机会。”
“老板!明天,明天的技术报告会才是你表现的主场,现在就算了吧!”范晓明笑着提醒。
“也是!”包正义笑着点头,“那个,时间不早了,你们去吃午饭,吃完后
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